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关于 PowerCubeSemi

Potential · Convergence · Smart
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Introduction to business establishment

G1 Fab 网络

G1 Fab

地址

京畿道城南市中原区屯村大路405, 474室

生产制造能力

Ga₂O₃电弧检测传感器的大规模生产设备

流程覆盖率

全晶圆前端处理能力

月产能

每月100片晶圆（4英寸）

洁净室规范

100Class
沉积室
光刻室
设备清单
  • 直流/射频 磁控溅射系统
  • 等离子表面处理系统
  • 快速热退火（RTA）系统
  • 原子层沉积（ALD）系统
  • 探测站
  • 光刻机
  • 湿制程清洗台
  • 半自动匀胶机
  • 半自动显影机
  • 排风柜
  • 超声波清洗机
  • 加热板
  • 去离子水生成系统
  • 实验室烘箱