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G1 Fab

Address

경기도 성남시 중원구 둔촌대로 474 선텍시티1차 405호

Manufacturing Capability

산화갈륨 아크감지센서 양산 Fab.

Process Coverage

웨이퍼 전공정 가능

Monthly Capacity

100Wafer / 월 (4인치 Wafer 기준)

Cleanroom Specification

100Class
Deposition Room
Photolithography Room
보유 장비
  • DC / RF 마그네트론 스퍼터링
  • 플라즈마 표면 처리 시스템
  • RTA (후열처리 장비)
  • ALD (원자층 증착장비)
  • 프로브 스테이션
  • 마스크 얼라이너
  • Wet station
  • Semi-auto 스핀코터
  • Semi-Auto 스핀 디벨롭퍼
  • 흄후드
  • 초음파 세척기 / 핫 플레이트 / 증류수 생성기 / 오븐